对于高真空磁控溅射仪的镀膜室转轴，需要避免使用一般润滑剂，因为其可能会污染真空环境和影响薄膜品质。因此，建议使用高温高真空特种润滑剂。

以下是润滑处理建议步骤：

1. 确认润滑脂符合高真空要求。润滑脂应该专为高真空环境设计，满足低挥发性、低气压特性、耐辐照性等要求。

2. 清洁清理转轴表面。应用纯酒精或甲醇清洗转轴表面并且擦干。

3. 涂抹润滑脂。用细长型密封注射器涂抹润滑脂，确保不会污染其他部分。在涂抹前应根据生产厂家规定进行制备，并遵守材料存放时间，以确保有效性。

4. 测试润滑效果。在没有真空的情况下运行转轴以测试润滑效果，确保操作平稳，并且没有问题。

5. 定期检查润滑。定期检查润滑剂的状态并且补充。由于润滑剂的使用时间和频率不同，因此应该依据实际情况量化时间节点。