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如何对其进行润滑处理
如何对其进行润滑处理
高真空磁控溅射仪镀膜室的转轴摩擦力较大,如何对其进行润滑处理
对于高真空磁控溅射仪的镀膜室转轴,需要避免使用一般润滑剂,因为其可能会污染真空环境和影响薄膜品质。因此,建议使用高温高真空特种润滑剂。以下是润滑处理建议步骤:1. 确认润滑脂符合高真空要求。润滑脂应该专为高真空环境设计,满足低挥发性、低气压特性、耐辐照性等要···
2025-01-29 07:39:36